无

电子源 ZrO/W热场发射（肖特基热场发射） 二次电子分辨率 0.8 nm（加速电压 15 kV） 0.9 nm（加速电压 1 kV） 加速电压 0.1～30 kV 放大倍率 20～2,000,000倍 束流 最大200 nA 样品台 X/Y/Z : 135 x 100 x 40 （mm）。

1.在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与EDX分析 　　2.最多可同时实现6通道检测与显示 　　3.在最大像素10240 x 7680时，也可获得图像数据 　　4.同级别*设备中最多的可配置18个附件接口 　　5.支持最低300Pa的低真空模式(选配) 　　*空间分辨率在1 nm/1 kV以下

1.SE、BSE电子观察样品表面形态 2.EDX分析